现如今半导体行业快速发展,集合了AGV/AMR和协作机械臂两者优势的柔性化移动复合机器人需求量日益攀升。搭配协作型机械臂的移动复合移动机器人兼具高效率、连续性、精确性、灵活性和安全性,可以与人在车间协同作业,成为物料搬运、上下料等功能为一体的智能解决方案。

达明机器人作为全球协作型机器人和智能视觉系统先驱,针对AGV/AMR搭配的复合机器人应用场景推出直流电源版本的手臂(M系列),透过TM特有的Landmark专利及TMvision视觉系统建立动态相对坐标体系并实现跨手臂点位共享,弥补AMR行走的运动偏差并精准定位、平稳取放,非常适用于医疗及半导体等行业移动搬运、智能巡检、移动式堆栈、加工机床上下料等要求机动性高、精度高的应用。

代表案例1:捷螺+TM复合机器人

智能搬运方案

星科金鹏是捷螺智能在新加坡的第一个客户,并且创造了捷螺公司的新记录,从开始接触到确定技术和下单仅仅两个月的时间。

期间星科金鹏也评估了多个机器人厂家。在经过多个部门和多次的技术沟通、对接和评估后,最终选择了捷螺智能机器人。因为捷螺能够给为其提供完整的无人工厂解决方案。

传统上,大多数半导体生产车间产品物料都由工人手动搬运和检测。如今,捷螺合作的客户工厂都借助Wi-Fi、嵌入智能复合机器人和人工智能增强的大数据分析,可以在生产车间进行常规的搬运和监视。自主执行的任务减轻了人力负担,并确保工作场所安全。Wi-Fi的信号覆盖大型制造区域引入实现了低延迟,并改善了无线连接,允许复合机器人(AMR)在工厂车间无缝移动。

代表案例2:斯坦德+TM复合机器人

半导体晶圆盒自动上下料项目

国内某知名半导体晶圆制造企业自2020年开始在多个厂区累计投入近50台斯坦德潜伏式和复合式AMR,实现了整厂生产物流自动搬运及智能化管理。

项目难点:1、涉及到7大工序,对接设备机台多,流程复杂,AMR必须精准配送物料。

2、车间内空间狭窄,人车混行,需要实现安全避障。

3、晶圆易碎且贵重,机器人要保障运行平稳、低振。

4、晶圆制造车间洁净度要求高,AMR需要满足高洁净标准。

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解决方案:

项目覆盖氧化扩散、光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗与抛光、金属化七大流程,AMR能高效、准确、灵活地完成晶圆的搬运、转运及上下料全流程自动化。

针对晶圆搬运及上下料的具体场景需求,斯坦德为该项目投入基于Oasis系列AMR搭载协作机械臂而成的复合移动机器人,通过高精度协作机械臂实现晶圆盒的精准取放,自动将物料运送到对应的需料机台,对接精度可达±0.5mm。

每道工艺流程的加工时间不同,为了降低生产瓶颈,方案针对性地规划了E-Rack存储加工完成的晶圆盒,可进行库位管理,实现动态智能配送。

项目意义:1、保障物料生产质量

相比于人工搬运,AMR搬运的准确性、稳定性更高,且对环境污染更少,可以保证晶圆等贵重物料在搬运过程中不受到损坏,提高整体生产质量。

2、提高机台的生产效率

AMR可以合理规划物料搬运节拍,保证机台生产节拍稳定,减少机台闲置,提高利用率,从而提高生产效率。

3、降低工人劳动强度

4、实现数字化生产管理

愿景

未来就在眼前-达明机器人AI COBOT

使命

致力于开发智慧机器人技术,突破人机协作障碍,促进产业优化升级,创造人机协同新时代。

核心价值

品质 创新 服务

 

作者 admin